GMS氣體監(jiān)測監(jiān)控系統介紹
GMS的主要目的是通過對所有潛在的危險氣體泄漏點的監(jiān)控，在保證人員安全的前提下，盡可能的保證生產連續(xù)并不受干擾的進行。
GMS是氣體信息系統，主要負責收集氣體供應設備氣體供應狀態(tài)，如管路壓力、閥門狀態(tài)、報警和故障情況等，當監(jiān)控區(qū)域出現氣體供應設備異常時,該系統能實時提供區(qū)域設備報警提示，讓現場操作人員最快時間發(fā)現問題，同時還可實現定期自動抄表功能。
系統需求
隨著科學技術及智能技術的發(fā)展,人們對半導體集成電路芯片需求越來越大.集成電路的生產加工由于工藝的需求,需要使用到一定量的特殊氣體,為保證生產線人員的安全及生產過程的穩(wěn)定可靠,半導體廠務運營中心需要對生產工藝中使用到的氣體是否泄漏進行實時監(jiān)控。
解決方案